ルネサスのフローセンサモジュールは熱伝達(熱量測定)原理に基づき、高感度のMEMS熱電対を利用して、感知面を流れる気体や液体の流量を測定します。MEMSセンシング素子のシリコンカーバイド膜は優れた耐摩耗性と長期的な信頼性を実現します。 いくつかのバージョンでは追加のパリレンコーティングも実施しています。ファミリーには、線形出力に較正されたバージョン(FS2012)や、非線形出力の較正されていないバージョンがあり、設計の柔軟性を高めます。 これらマスフローセンサは産業用プロセス制御、ヘルスケア、および医療用の使用に最適です。

  • 幅広いアプリケーションに対応する多様な外形
  • 低流量でも高感度
  • 食品にも対応できるNSF認証付き製品あり
  • 振動・圧力に強い構造
  • 低電圧 3VDC~5VDC

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型番 製品特徴 データシート オーダー
FS1012 未較正の出力 - 気体/液体 pdf_icon_for_table.png 可能
FS2012 較正済み出力 - 気体/液体 pdf_icon_for_table.png 可能
FS1023-DG ガスフローセンサモジュール 0~ 35 SLPM pdf_icon_for_table.png 可能
FS1025-DG ガスフローセンサモジュール 0~150 SLPM pdf_icon_for_table.png 可能
FS1027-DG ガスフローセンサモジュール 0~200 SLPM pdf_icon_for_table.png 可能

センサには可動部がなく、センサ表面はシリコンカーバイドコーティングされています。また一部のバージョンでは追加のコーティングがあるのが特長です。 これにより優れた耐衝撃性を実現し、典型的な化学物質によるセンサ素子の損傷を防止します。このため、信頼性、堅牢性、可洗浄性が重要な要素になる医療、産業、食品用途(FDA認証取得)に適したソリューションとなっています。

ルネサスのフローセンサモジュールは広範囲の気体と液体の流量測定用途に適した柔軟性の高いモジュール構成において、世界クラスの性能と信頼性を実現します。 これらの装置は薬品の投与、静脈点滴の監視、酸素/麻酔のコントロールに適しています。商業用途としては、ウォーターディスペンサーの水や飲料の流れの制御、プロセス機器の空気や気体の流れを監視することなどが想定されます。

ルネサスの高性能なフローセンサモジュールは気体や液体の流れを測定します。 革新的なソリッドステートセンサ素子は一般的な同種のセンサにみられる可動部や、内部空洞、壊れやすい薄膜を持たず、シリコンカーバイドの保護コーティングを特長とし、目詰まりがなく圧力に強く、食品グレード用途に適合する非常に堅牢で信頼性の高いフローセンサを提供します。

ルネサスは未較正のスタンドアロン フローセンサモジュールのほかに、デジタル I2Cとアナログ出力の較正済のバージョンも提供しています。 較正済フローセンサモジュールは気体や液体の測定精度が高く、典型的な読み取り誤差は±2%です。

可動部がなく、内部に空洞や壊れやすい薄膜もない設計なので、目詰まりがなく圧力に強く、優れた耐衝撃性を実現します。 また、シリコンカーバイドコーティングは化学物質によるセンサ素子の損傷を防止します。

液体および気体質量流量計について

フローセンサは流量計としても知られ、流速や、モジュール所定の断面積を通る気体や液体の総量を測定するのに使用されます。 これら測定は給水、液体監視、酸素監視、プロセス機器の気体の流れなど、幅広い用途で重要になります。

ルネサスのMEMSベース気体流量計と液体流量計は抵抗ヒーター、2つの熱電対(サーモパイル)からなり、それぞれがヒーターの上下流に対照的な位置に配置されています。 サーモパイルの出力はヒーターから検知した熱量と比例して流速によって変化します。 サーモパイルのアナログ出力は一般的に較正済デジタル出力信号に変換され、システムプロセッサで使用できます。